纯化水系统关键部件评估表
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关键部件评估表
问题
功能/部件
说明/任务
1
2
3
4
5
6
7
是否关键?
备注
预处理系统
多介质过滤器
去除原水中悬浮物及粘胶质颗粒,降低
原水浊度及污染指数
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N
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N
Y
Y
N/A
活性炭过滤器
滤除原水中的有机物和余氯等杂质
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Y
Y
N/A
树脂软化器
使水质得到软化,并使软化水持续不断
产生
N
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Y
Y
N/A
盐箱
为软化器持续不断地提供钠盐(Na+)
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N/A
保安过滤器
防止前端处理出现泄漏导致反渗透膜被
阻塞
N
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N
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N
Y
Y
N/A
制备系统
一/二级反渗透装置
去除水中的细菌、病毒体、有机物和 98%
以上的溶解性盐类
N
N
Y
N
N
N
Y
Y
N/A
PH 值调节装置
对二级反渗透进水的 PH 进行调节,保证
二级产水的电导率及酸碱度合格,使产
水满足 EDI 装置进水要求。
N
Y
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Y
N/A
化学清洗药箱
在线清洗反渗透膜
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N
N
N/A
EDI 膜组件
除去水中电解质(包括弱电介质)
N
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Y
Y
Y
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Y
Y
N/A
泵(原水泵、一级
泵、二级泵、清洗
泵、EDI 进水泵)
为系统运行、清洗等提供足量及压力的
进水动力
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N
N
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N
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N/A
功能/部件
说明/任务
问题
是否关键?
备注
1
2
3
4
5
6
7
管路(含阀门、连
接件)
水的输送系统之间的管路连接
N
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N
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N
N
Y
Y
N/A
管路(含洁净区内
隔膜阀)
洁净区内纯化水的输送管路
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N
Y
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N
Y
N/A
流量计(一/二级反
渗透浓水/纯水流量、
EDI 浓水/产水/极水
流量)
在线显示各系统运行时的流量状况
N
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N
N
N
N
Y
Y
N/A
压力表(原水压力、
一级膜前压力、EDI
产水前压力等)
在线显示各系统运行时的压力状况
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Y
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Y
N/A
电导率仪
在线显示各系统运行时的电导率
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Y
Y
N/A
电阻率仪
在线显示超纯水的电阻率值
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Y
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Y
Y
N/A
储存、循环系统
中间纯水箱
对二级产水进行暂存,为 EDI 系统提供
稳定的供水。
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N
N
N
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Y
Y
N/A
超纯水箱
储存最终制得供生产、检验等使用的纯
化水,并为循环泵循环提供水源。
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N
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Y
N
Y
Y
N/A
循环泵
为系统运行、清洗等提供足量及压力的
进水动力
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N
N
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N
Y
Y
N/A
呼吸器
确保水箱内外无压差,同时有效阻止空
气中微生物及固体粒子进入水箱
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N
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Y
Y
N/A
紫外线杀菌器
对纯化水进行表面消毒
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N
Y
N/A
臭氧消毒器
对中间水箱、超纯水箱中纯化水及附属
管路进行消毒
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Y
Y
Y
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Y
Y
N/A
功能/部件
说明/任务
问题
是否关键?
备注
1
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5
6
7
控制系统
人机界面(含报警)
设置参数、启动/停止运行各组件、状态
显示、故障显示
N
N
Y
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N
N
N
Y
N/A
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2025-12-17 82
作者:薛定谔的龙猫
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时间:2025-11-20

