GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
ICS13.040.35CCSC70中华人民共和国国家标准GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015代替GB/T25915.2—2010洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part2:Monitoringtoprovideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoaircleanlinessbyparticleconcentration(ISO14644-2:2015,IDT)2021-08-20发布2022-03-01实施国家...
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